扫描电子显微镜

设备名称：

扫描电子显微镜（SEM）

型号：

JSM-6490LV

产地：

日本

价值：

145万元

购置年份：

2008年4月

主要技术参数：

1.分辨率：小于3.0nm（30kV，高真空，钨灯丝，二次电子）；小于4.0nm（钨灯丝，背散射电子）；

2.加速电压最小范围：0.5～30KV，10V/步；

3.放大倍数范围：20～300,000倍；

4.高真空度：1.5×10-3Pa；低真空度：6～270Pa；

5.能谱仪Si（Li）探测器：分辨率优于133eV；

6.能谱探测器的有效面积：10mm2；

7.能谱元素分析范围：B5～U92。

应用领域：

广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。随着材料科学和高科技的迅速发展，扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下，同时得到成分信息和晶体学的信息，使得扫描电镜测试技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。