高解析热场发射扫描电子显微镜

设备名称：

高解析热场发射扫描电子显微镜（FESEM）

型号：

JSM-7001F

产地：

日本JEOL

价值：

300万元

购置年份：

2010年4月

主要技术参数：

主要技术参数：

1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV) ;

2.加速电压：0.5KV-30kV;

3.放大倍数：10-500K ;

4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm ;

5.束流强度：1pA到200nA。

主要特点：

1.浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA；

2.无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测和EBSP观测不变形；

3.自动光阑角控制器,无需调整光阑；

4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度；

5.适于配合多种分析性探头。

应用领域：

主要用于对材料微观组织、表面形貌、断裂断口等的观察分析，同时配有丹麦HKL公司Channel-5型电子背散射衍射分析系统，可在观察微观形貌的同时，进行微区成分的定点分析、线、面分布分析，微区物相晶体结构、晶体取向、取向分布等的分析。